Китай натрупа 343 DUV литографа за 7 nm чипове

Китайските производители на чипове са се сдобили с около 343 имерсионни DUV литографа от нидерландската ASML към началото на 2026 г. Това твърди доклад на вашингтонския Centre for Technology and Statecraft (CTS), публикуван в края на септември и подхванат от Kaldata и TrendForce. Според авторите този парк е достатъчен за серийно производство на чипове от 7-нанометров клас — без нито един EUV скенер, които са напълно забранени за износ към Китай.

Докладът е написан от Никълъс Браун, бивш служител по експортния контрол в САЩ, и Саиф Хан, бивш съветник по технологична политика в Белия дом и Министерството на търговията. Изводът им е еднозначен: контролът върху износа е пропуснал най-важната категория оборудване.

Какво точно е купено

От 343-те машини около 270 са ASML TWINSCAN NXT:1980i — работният кон на имерсионната литография. Още 28 са по-новите NXT:2050i и NXT:2100i, попаднали в Китай преди ограниченията да влязат в сила.

Темпото е впечатляващо. Само през 2024 г. китайските фабрики са поръчали около 90 броя NXT:1980i, а през 2025 г. — още 89. Общата сметка за двете години надхвърля 13 млрд. долара (около 12 млрд. евро по текущия курс).

Снимка: ASML

Защо 38 nm стигат за 7 nm

Тук е техническата същност на историята. По официалните спецификации на ASML NXT:1980Di има разделителна способност 38 nm при диполно осветяване и 40 nm при C-quad, съвместяване на слоевете под 2,5 nm между машини и производителност 275 вафли на час.

Числото 38 nm звучи далеч от 7 nm, но в литографията „нанометрите“ на техпроцеса отдавна не описват реален размер. Със многократно експониране (multi-patterning) един слой се разбива на няколко последователни експонирания с междинни етапи на ецване, при което финалната плътност на структурите става много по-висока от това, което машината може в едно минаване.

Цената е в производителността: всеки допълнителен проход означава повече стъпки, повече време на вафла и по-нисък добив. Точно затова EUV съществува. Но ако сте готови да платите тази цена — а Китай очевидно е — 7 nm е достижим с DUV. SMIC го доказа на практика още с процесора Kirin 9000s.

Снимка: ASML

Как се отвори тази вратичка

Хронологията на ограниченията обяснява всичко. През септември 2023 г. Нидерландия въведе лицензионен режим за NXT:2000i и по-напредналите имерсионни системи. NXT:1980i остана извън списъка. Едва през септември 2024 г. режимът беше разширен и върху него — но с възможност за одобрение „за всеки случай поотделно“.

Тоест цяла година най-масовият имерсионен скенер се продаваше свободно, а след това — условно. Резултатът се вижда в отчетите на ASML: по дестинация на доставките Китай е бил 41% от нетните продажби на системи през 2024 г., 33% през 2025 г., после спад до 19% за първото и 14% за второто тримесечие на 2026 г.

Тази крива е както доказателство, че контролът вече работи, така и обяснение защо е закъснял.

Какво предлага докладът

CTS иска пълна забрана за доставки на имерсионни DUV системи към Китай, плюс ограничения върху сервиза и подмяната на компоненти на вече инсталираните машини в предприятия за съвременни чипове. Второто е ключово — литографът е прецизна апаратура, която без оригинални части и поддръжка деградира.

Докладът се позовава и на двупартийния законопроект MATCH Act, внесен през април, който търси забрани в цял Китай за продажба и обслужване на оборудване, което страната не може да произвежда сама.

Тук обаче има насрещно движение. Шанхайската Yuliangsheng вече тества собствено имерсионно DUV оборудване при китайски производители, включително SMIC и по линиите на Huawei. Ако това узрее, забраната губи зъби.

Контекст

Историята е част от по-широка картина, в която санкциите дават резултат, но по-бавно от очакваното, а Huawei междувременно укрепва позиции по други канали — дни по-рано компанията подписа кръстосан лиценз за 5G с Qualcomm, включващ и продажба на американски патенти, както съобщи TechSpot.

Заключение

Ако оценките на CTS са верни, 343 имерсионни скенера не правят Китай конкурент на TSMC — те му дават достатъчно капацитет да не спре. Следващият въпрос не е дали Китай може да прави 7 nm чипове (може), а колко скъпо му излиза и дали ще получи достатъчно резервни части, за да го прави и след пет години. Отговорът ще дойде по-скоро от Хага и Вашингтон, отколкото от Шанхай.